[A13-A14] 전자/반도체 재료 III
Oral, 
G발표회장(스톤홀3), 
10:10 ~ 11:10
Chair: 정대용(인하대)
A-13
오전 10:40:00
Study on Etch Characteristics of Magnetic Tunnel Junction (MTJ) Materials using Reactive Ion Beam Etching (RIBE) for MRAM devices
김예은, 김두산, 김주은, 길유정, 장윤종, 염근영 (성균관대학교)
A-14
오전 10:55:00
Super-Cycle 기반의 ALD TaAlN 금속 박막 형성 및 특성
최문석, 이주현, 김민혁, 김위남, 최창환 (한양대학교 신소재공학부)

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